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匯眾達潔凈室定義標準分類及維護HZD
詳細信息| 詢價留言加工定制：是 品牌：匯眾達 型號：HZD 殺有害菌率：99.99 % 除塵率：99.99 % 廢氣凈化率：99.99 % 凈化級別：百萬-十萬級 適用面積：20-2000 ㎡ 殺霉菌率：99.99 % 負離子濃度：1000 個/m3 適用面積：20-2000 ㎡ 殺霉菌率：99.99 % 潔凈室定義標準分類及維護
潔凈室*主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。潔凈室主要分為亂流式潔凈室、層流式潔凈室和復合式潔凈室。
1.亂流式潔凈室:空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點:構造簡單、系統(tǒng)建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些*殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統(tǒng)停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間.
2.層流式潔凈室:層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100/之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較*之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點:構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。
缺點:建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較*之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
優(yōu)點:管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點:構造費用較*，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復合式潔凈室:
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(clean tunnel):以hepa或ulpa過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100/覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質，ulsi制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:a.彈性擴充容易;b.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(clean tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為*適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(clean spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為激活生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。轉到“設潔凈工作臺:等級class 1~100級.潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之hepa或ulpa及空調送風機組而成為一較*級之潔凈室。
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