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集成電路無(wú)塵車間設(shè)計(jì)施工注意事項(xiàng)
2023-07-31 15:42:25 來(lái)源：青島匯眾達(dá)凈化設(shè)備有限公司
集成電路無(wú)塵車間是為了實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備加工工藝要求的凈化室，該無(wú)塵車間對(duì)自然環(huán)境潔凈度等級(jí)、溫度濕度、震動(dòng)、ESD、AMC操縱等常有*須的規(guī)定。相對(duì)性于別的工業(yè)生產(chǎn)凈化室，集成電路生產(chǎn)制造無(wú)塵車間有總面積大、清潔等級(jí)高、溫度濕度線性度高等特性。
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