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凈化生產(chǎn)車(chē)間氣體循環(huán)系統(tǒng)種類(lèi)
2023-07-31 15:45:19 來(lái)源：青島匯眾達(dá)凈化設(shè)備有限公司
循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合*效送風(fēng)口系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng)。
第*類(lèi)：在小規(guī)模納稅人低等級(jí)規(guī)定的凈化室生產(chǎn)車(chē)間設(shè)計(jì)構(gòu)思中被運(yùn)用，針對(duì)大規(guī)模*級(jí)的凈化車(chē)間則存有運(yùn)作成本費(fèi)過(guò)*、占有室內(nèi)空間*大等缺陷。
第二類(lèi)：設(shè)計(jì)構(gòu)思能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造無(wú)塵車(chē)間大規(guī)模*級(jí)的規(guī)定，但運(yùn)作成本費(fèi)*高，而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難，系統(tǒng)*新改造艱難，因而實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力*低。
第三類(lèi): FFU呼吸系統(tǒng)不但節(jié)約運(yùn)作室內(nèi)空間、潔凈度等級(jí)*全系數(shù)高、運(yùn)作低成本，并且實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力*高，能夠不在危害生產(chǎn)制造的狀況下隨時(shí)隨地開(kāi)展系統(tǒng)*新和調(diào)節(jié)，這種都能非常好地考慮半導(dǎo)體設(shè)備的要求，因而在半導(dǎo)體材料加工業(yè)FFU呼吸系統(tǒng)逐步形成*關(guān)鍵的清潔方案設(shè)計(jì)。
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